方案背景
一、項目需求
由于硅片分選機內(nèi)破損硅片殘留,導致宕機,需要人工在機臺內(nèi)將殘破硅片取出,耗時較長,直接影響產(chǎn)能。客戶需要將殘破硅片取出這個動作在分選機外實施,并且預(yù)留多組花籃的排料空間,讓一個工人能夠顧及多條線體,實現(xiàn)產(chǎn)能提升的同時,避免人員的大量投入。
二、技術(shù)要求
對容器內(nèi)的硅片進行整體的檢測,檢測花籃內(nèi)的硅片是否有多片、少片、厚片、破片、以及硅片是否有錯齒現(xiàn)象,擇出不良品,提高良率,CT耗時要求3s以內(nèi)。
方案優(yōu)勢
1、圖像質(zhì)量:亮度均勻、無伸縮變形、邊緣過渡帶清晰
2、算法耗時:工控機1拖8,雙傳送帶檢測穩(wěn)定耗時2s內(nèi)
3、場景適應(yīng)性:漏檢率<1%,誤檢率<1%
4、客戶價值:將殘破硅片取出這個動作在分選機外實施,并且預(yù)留多組花籃的排料空間,讓一個工人能夠顧及多條線體,實現(xiàn)產(chǎn)能提升的同時,避免人員的大量投入
方案架構(gòu)
該方案采用500萬CS系列小面陣相機搭配VM算法開發(fā)平臺實現(xiàn)花籃硅片檢測。
(1)流程思路:
(2)選型思路:檢測目標為花籃內(nèi)的硅片,由于視野要求較大并且打光均勻度要求較高,為了保持特征的穩(wěn)定與避免入射角過大導致的高度差漏檢情況,因此選擇使用開4孔面光來覆蓋成像視野范圍,通過多相機多區(qū)域依次檢測的方式,減小相機成像入射角,減小高度差漏檢的風險
(3)調(diào)試思路:調(diào)整曝光成像,使硅片在各個相機成像灰度大致統(tǒng)一,保證硅片邊緣與背景1~2個像素過渡帶的成像質(zhì)量,調(diào)整傳感器位置并與電氣核對,盡量確?;ɑ@處于相機成像中央。
??礛V-CS050-10GM 500萬像素網(wǎng)口面陣相機 MVL-MF1618M-5MPE鏡頭
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